Deutscher Zukunftspreis: Mikrochips durch Lasertechnologie

Der Deutsche Zukunftspreis wird den Entwicklern der EUV-Lithografie verliehen. Mittels dieser Laser-Technologie lassen sich winzige Mikrochips herstellen, die leistungsfähiger sind als bisherige Chips.  

Das EUV-Tool (kurz: Extremes Ultraviolett) ist das Herzstück der Technologie. Mit ihr kann die Größe der Mikrochips enorm reduziert werden. Dr. Peter Kürz, Leiter der EUV-Entwicklung der Carl Zeiss AG, zieht einen Vergleich:  

„Mit dem EUV-Tool kann man Strukturen - die haben die Größe von 13 Nanometern - abbilden. Und das bedeutet, dass wir auf eine DinA4-Seite ein Magazin wie den Spiegel circa 280.000 Mal drauf drucken können.“

Nicht nur dank der Verleihung des Deutschen Zukunftspreises genießt die Carl Zeiss AG durch die EUV-Lithografie hohe mediale Aufmerksamkeit. Sie geht zudem auch sehr offen mit dem Herstellungsverfahren um und gibt detaillierte Einblicke in den Herstellungsprozess. Gleichzeitig befürchtet Dr. Kürz als Leiter der Carl Zeiss Entwicklungs-Abteilung allerdings nicht, dass diese Einblicke dazu führen könnten, dass Konkurrenz-Unternehmen die Technologie kopieren. Dies begründet Kürz u.a. mit der Absicherung durch Schutzrechte:  

(…) „dass wir einen sehr hohen Aufwand auch gerade in diese Entwicklung hineingesteckt haben, alleine hier bei Zeiss über 2.000 Patente zum Thema EUV, von dem her ist es eben auch eine sehr gut abgesicherte Technologie.“

Herausragende Erfinder verschieben die Grenzen des technisch Machbaren. Das haben die Preisträger des Deutschen Zukunftspreises bewiesen, wie auch die Präsidentin des Deutschen Patent- und Markenamtes betont. Auch wir gratulieren Zeiss zu dieser technologischen Meisterleistung.  

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Weitere Informationen:

• Pressemitteilung des Deutschen Patent- und Markenamts (DPMA)
• Grundlagen für die Absicherung von Technologien

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